SiCell Lab
Equipos auxiliares
Fabricación
caracterización
equipos auxiliares
Compresor de aire exento
- Contador de partículas en suspensión
- Sensores de temperatura y humedad ambiente
- Deshumidificador de aire por adsorción
- Armario de seguridad para el almacenaje de productos químicos
- Línea de gas argón
- Sistema de ventilación forzada de aire
- Sistema de purificación de agua
- Sistema de acumulación y recirculación de agua pura
- Circuito cerrado de refrigeración por agua
- Sistema de evacuación de líquidos corrosivos
- Línea de aire comprimido limpio y seco
- Cabina y línea de mezcla de gas al 2% Silano/nitrógeno
- Líneas de gas amoniaco, nitrógeno técnico, nitrógeno puro y protóxido de nitrógeno
- Línea de mezcla de gas tetrafluorometano/20% oxígeno
- Sistema de detección de gases tóxicos, niveles de oxígeno y mezclas explosivas
- Sistema de abatimiento para gases tóxicos (GRC)
- Sistema de evacuación para gases de alta temperatura
- Sistema de evacuación de vapores tóxicos